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IC前道制造
SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及高速高精的自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿(mǎn)足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求。該設(shè)備可用于8寸線(xiàn)或12寸線(xiàn)的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
全國(guó)服務(wù)熱線(xiàn)： 18168876888
IC前道制造
SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及高速高精的自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿(mǎn)足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求。該設(shè)備可用于8寸線(xiàn)或12寸線(xiàn)的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
全國(guó)服務(wù)熱線(xiàn)： 18168876888
產(chǎn)品圖片


產(chǎn)品詳情

SSA600/20
SSC600/10
SSB600/10
SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及高速高精的自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿(mǎn)足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求。該設(shè)備可用于8寸線(xiàn)或12寸線(xiàn)的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
    主要技術(shù)參數(shù)


型號(hào) SSA600/20 SSC600/10 SSB600/10
分辨率 90nm 110nm 280nm
曝光光源 ArF excimer laser KrF excimer laser i-line mercury lamp
鏡頭倍率 1:4 1:4 1:4
硅片尺寸 200mm或300mm 200mm或300mm 200mm或300mm