ATR500 |
APR500 |
● 靈活性高
● 適用于高凈化等級廠房
● 運載量大
● 操作簡便
● 物料可追溯
● 安全性高
型號 |
ATR500 |
APR500 |
運載容量 |
12個8寸滿載片盒或4個12寸滿載FOUP |
2個12寸滿載FOUP |
引導(dǎo)方式 |
激光智能引導(dǎo) |
激光智能引導(dǎo) |
移動速度 |
最高1.3 m/s(可配置) |
最高1.3 m/s(可配置) |